¿Cuáles son las técnicas de detección espectral comunes y sus aplicaciones?
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1. Espectroscopía infrarroja de transformación de Fourier (FTIR) :Se utiliza para detectar la composición química y la estructura molecular del material de la chip, analizando el espectro de absorción de la luz infrarroja, identificar grupos funcionales específicos y juzgar el tipo y la pureza del material
2. Espectroscopía Raman :Una técnica de prueba no destructiva para obtener información de vibración molecular de un material analizando el cambio de energía después de la dispersión de fotones, adecuado para el control de calidad de los materiales semiconductores
3. Espectroscopía ultravioleta-visible (UV-vis) :Evaluación de las propiedades de absorción de luz de la superficie del chip, detección de contaminantes, espesor de óxido y otras propiedades de la superficie
4. Espectroscopía de fluorescencia :Detecta ciertos elementos o compuestos en el chip e identifica las impurezas de trazas por las longitudes de onda específicas de la luz emitidas después de la excitación
5. Espectroscopía infrarroja cercana (NIR) :mide la concentración y composición de un material y a menudo se usa para detectar productos químicos con picos de absorción específicos en la región infrarroja cercana
